工程中心高度重视技术创新及科技成果转化，2020-2021年，工 程中心2项科研成果获湖南省科技进步奖，申请专利72件，其中发 明专利41件，授权专利64件，其中发明专利34件。在国内各大核 心期刊发表论文23篇。通过核心技术攻关，形成了系列创新产品。

一是立式硼扩散设备，该设备是立式掺杂设备首次应用于光伏行 业，能大幅缓解硼扩散能耗高、炉体和石英损耗大、维护成本高等问 题，在高方阻均匀性、工艺能耗等方面具有较大优势，获得业内一致 好评，是工程中心在高效电池核心装备领域的重大创新成果。

二是等离子体增强隧穿氧化和Poly生长设备，该设备由工程中 心首次推出，实现了隧穿氧化层生长、非晶硅沉积、原位掺杂三合一 功能，单工序完成完整接触钝化结构制备，推动了国内TOPCon电池 产业化进程。

三是成功开发了国内首款超大产能异质结专用PVD设备，具有 靶材利用率高、成膜均匀性好、设备稳定性高的特点，产能高达8000 片/时，可大幅提升电池产线转换效率，是行业首台进入产业化应用 的HJT用PVD设备。

四是异质结电池专用PECVD设备，该设备采用I-IN-P三段式镀膜设计，具有工艺拓展性强、支持微晶镀膜功能等特点，突破了大面 积均匀加热、大极板电容均匀电场、薄膜动态沉积工艺等关键技术， 达到国内领先水平。

（更新于2022年上半年）